Präzisions-Chuck
3-Achs-Stage (x,y,z)
2-Achse Stage (x,y)

Für die Herstellung von Flat Panel Displays und verschiedene Anwendungen in der Halbleiterproduktion haben wir gemeinsam mit unserem Partner in Japan zahlreiche luftgelagerte Antriebssysteme mit einer oder mehreren Achsen entwickelt. Hunderte von Systemen sind seit dem Jahr 2003 in Serie. Darüber hinaus entwickeln und fertigen wir kundenspezifische Lösungen, wie z.B. Präzisions-Chucks mit integrierten Funktionen oder hoch-sensible Messvorrichtungen und Handhabungsmodule.

Präzisions-Chuck

Ein Chuck mit einer Ebenheit von 5 µm bei einer aktiven Fläche von 0,72 m² und einer Bauhöhe von nur 80 mm: Diese Aufgabe hat AeroLas gelöst. Luft und Vakuum sind parallel in die Chuck-Fläche integriert, um Glassubstrate laterial im Sub-µm-Bereich positionieren zu können. Zum zerstörungsfreien Aufsetzen und Abheben der Glassubstrate sind hoch-sensible Liftpins direkt in den Chuck integriert. Die nächste Generation mit einer vielfach größeren aktiven Fläche und integrierten x/y/phi-Antrieben ist bereits in Konzeption.

Branche:

Flat Panel Display-Produktion

Anwendung:

Laser-Bearbeitung

Tätigkeiten:

kundenspezifische Entwicklung, Fertigung/Montage Serie

Chuck-Geometrie:

Länge/Breite/Höhe:
980 mm x 730 mm x 80 mm

Aktive Chuck-Fläche / Ebenheit:

920 mm x 732 mm / 5 µm (!)

Funktionalität:

gleichzeitige Nutzung von Luft und Vakuum

Liftpins (Aufsetzen/Abheben):

integrierte Pneumatikkolben

Chuck mit integriertem Luft-/Vakuumlager und Liftpins

3-Achs-Stage (x,y,z)

Die luftgelagerten Stages von AeroLas weisen eine deutlich bessere Dynamik und Genauigkeit als Wettbewerbsprodukte auf. Dies liegt zum einen an der Konzeption selbst, aber auch an der speziellen Auslegung und Anbindung der Luftlager. Ein herausragender Vorteil ist, dass die Luftlager einfach und schnell ausgetauscht werden können. Im Fall einer Beschädigung ist die Stage bereits nach wenigen Minuten ohne Justierungen wieder einsatzfähig.

Branche:

Flat Panel Display-Produktion

Anwendung:

verschiedene

Tätigkeiten:

kundenspezifische Entwicklung, Fertigung/Montage Serie

Verfahrwege:

bis > 2,5 m

Motoren:

eisenlose Linearmotoren

Lagervorspannung:

magnetisch, mit Vakuum oder mit Kolbenlagern

Genauigkeiten:

je nach Anwendung Position und/oder Gleichförmigkeit

Stage für Flat Panel Display Produktion

Seitliche Ansicht

2-Achse Stage (x,y)

Diese Stage wurde auf hohe Dynamik und eine hohe Abstandsgenauigkeit des Messobjekts unter dem Messkopf optimiert.

Branche:

Flat Panel Display- / Halbleiter-Produktion

Anwendung:

verschiedene

Tätigkeiten:

kundenspezifische Entwicklung, Fertigung/Montage Serie

Verfahrwege:

400 mm x 400 mm

Auflagefläche des x/y-Schlittens (Keramik):

400 mm x 400 mm

Ebenheit der Auflagefläche des x/y-Schlittens:

1 µm

Maximale Beschleunigung:

4 m/s²

Maximale Geschwindigkeit:

0,5 m/s

Geradheit (vertikal)
auf 100 mm:

0,02 µm (x) / 0,07 µm (y)

Geradheit (horizontal)
auf 100 mm:

0,14 µm (x) / 0,09 µm (y)

Gleichförmigkeit (Geschwindigkeit):

+/- 0,05 % (bei v = 24 mm/s)

Motoren:

eisenlose Linearmotoren

Lagervorspannung:

magnetisch, mit Vakuum und mit Kolbenlager

Footprint:

1.248 mm x 1.000 mm x
270 mm

Luftgelagerte x/y Stage für höchste Präzision