Nachfolgende Produktbeispiele zeigen nur eine Auswahl kundenspezifischer Systementwicklungen: Das breite Feld reicht von ultrapräzisen Antrieben für die Meßtechnik über komplexe, robuste Multifunktionalsysteme für die Elektronik- und Halbleiterproduktion bis hin zu kostengünstigen Antrieben für die Automatisierungstechnik.
Präzisions-Messtisch
Die kundenspezifische Entwicklung des kompletten Meßtisches und die Fertigung von 3 Prototypen wurden in nur 15 Monaten durch- geführt. Seine filigrane Struktur ermöglicht Durchlichtmessungen in der 300 mm Chip-Produktion bei höchster Genauigkeiten. Die Luftlager sind insbesondere auf einen niedrigen Luftverbrauch bei höchster Steifigkeit ausgelegt.
Branche: | Halbleiter-Produktion |
Anwendung: | Auf- und Durchlichtmessung (Wafer, Masken, CDs usw.) |
Tätigkeiten: | kundenspezifische Entwicklung, Fertigung/Montage Serie |
Verfahrweg: | 340 mm x 330 mm |
Genauigkeit: | < 1,5 nm im gesamten Verfahrbereich |
Antriebe: | Reibradantriebe |
maximale Beschleungigung | 0,25 m/s² |
Footprint: | ca. 1.000 mm x 1.000 mm |
Luftgelagerter 2-Achstisch mit Reibradantrieb
Hochbeschleunigter Dopplerantrieb
Aufgabe war, einen Kohlefaser-Spiegel (Fläche 500 mm x 250 mm) bei Beschleunigungen bis zu 300 m/s² mit flexiblen Bewegungsprofilen hochgenau zu führen. Die Lösung ist als luft- gelagerter Antrieb ausgeführt: Der Führungsholm (Länge 900 mm), an dem der Spiegel befestigt ist, ist ebenfalls aus CFK gefertigt und trägt die Magnete der Linearmotoren. Die Kabel/Schläuche (Motor, Luftlager, Meßsystem) werden nicht mitbewegt, damit keine Brüche infolge der hohen Lastwechsel auftreten. Die Luftlagerung ist absolut unempfindlich gegenüber Geometrieschwankungen infolge Temperatureinfluß.
Branche: | Neutronenreaktor Garching / München und ILL / Grenoble |
Anwendung: | Dopplerantrieb für Rückstreuspektrometer |
Tätigkeiten: | Entwicklung und Fertigung des Antriebs inkl. Elektronik |
Lebensdauer: | in Betrieb seit 2004 mit 300 m/s² ohne Servicebedarf |
Verfahrweg: | 150 mm |
bewegte Masse: | 10 kg |
Motoren: | eisenbehaftete Linearmotoren (Langstator-Prinzip) |
maximale Beschleungigung: | > 300 m/s² |
maximale Geschwindigkeit: | 4,7 m/s |
Luftgelagerter Linearantrieb für hohe Beschleunigungen
Dopplerantrieb
Hochdynamischer Linearantrieb
Die Luftlager-Technologie von AeroLas beweist ihre einzigartigen Fähigkeiten insbesondere bei höchster Genauigkeit und Dynamik. Der Antrieb mit zwei symmetrisch angeordneten eisenlosen Linearmotoren erreicht Beschleunigungen bis zu 400 m/s² bei einem Ruck bis 1.000.000 m/s³.
Branche: | Wälzlager-Produktion |
Anwendung: | Antrieb zum Testen von wälzgelagerten Linearführungen |
Tätigkeiten: | Entwicklung und Fertigung des Antriebs inkl. Elektronik |
Lebensdauer: | seit 2002 >> 7 Mrd. Zyklen ! |
Verfahrweg: | 100 mm |
Nutzlast: | 2 kg |
Motoren: | eisenlose Linearmotoren |
maximale Beschleungigung: | 400 m/s² |
maximaler Ruck: | 1.000.000 m/s³ |
Luftgelagerter Linearantrieb für höchste Dynamik
Antrieb für Produktionsautomat
In Produktionautomaten hat neben der Performance die Zuverlässigkeit höchste Priorität. Die Luftlagerung ist statisch bestimmt ausgeführt. Die Vorspannung erfolgt direkt durch den eisenbehafteten Linearmotor bzw. durch Kolbenlager. Dadurch ist der Antrieb einfach zu montieren und unempfindlich gegen Geometrieänderungen, z.B. durch Temperatur- einflüsse oder die Aufstellung des Automaten.
Branche: | Elektronik-Produktion |
Anwendung: | Hauptachsantrieb |
Tätigkeiten: | Entwicklung/Fertigung des Antriebs inkl. Elektronik |
Verfahrweg: | > 700 mm |
bewegte Masse: | ca. 50 kg |
Motor: | eisenbehafteter Linearmotor |
maximale Beschleungigung: | 50 m/s² |
maximale Geschwindigkeit: | 4,5 m/s |
Positioniergenauigkeit: | < 0,2 µm (bei sehr kurzen Einschwingzeiten) |
Luftgelagerter Linearantrieb für Produktionsmaschine (kopfüber-Betrieb)
Luftgelagerte Positioniereinheit
Die Positioniereinheit umfaßt vier luftgelagerte Achsen: 3 Linear- und eine Drehachse. Durch die magnetische Vorspannung der Luftlager ist der Aufbau kompakt und zugleich unempfindlich gegen Temperatureinflüsse. Die µm-Präzision an der Pipette resultiert aus der hohen Kippsteifigkeit der Luftlager.
Branche: | Automatisierungstechnik |
Anwendung: | Mikromontage |
Tätigkeiten: | Entwicklung, Fertigung/Montage Serie |
Verfahrbereich: | 270 mm x 120 mm x 30 mm |
Drehbereich: | +/- 180° |
Lagervorspannung: | magnetisch |
Motoren: | Piezomotoren |
Positioniereinheit mit 4 luftgelagerten Achsen