In der Solarindustrie können wir zur Produktivitätssteigerung und zur Reduktion des Substratbruchs beitragen. Mit innovativen Lösungen auf Basis unserer Luftlagertechnologie öffnen wir mit quasi kraftfreien Saugern und Stick-Slip-freien Lagern bis zu höchsten Temperaturen neue Perspektiven beim Transport, beim Handling und bei der Bearbeitung von Dünnschicht- und Siliziumzellen.

Luftlagernde Transport- und Prozessplatten

AeroLas stellt kundenspezifisch Transportplatten aktuell bis zu einer Größe von 1,9 m x 2,4 m her. Je nach Material sind sie auch für Dünnschicht-Prozesse bis ca. 400°C oder mit heisser Luftversorgung einsetzbar. In die Platten können auch Vakuumbereiche oder andere Funktionalitäten wie Liftpins zum Anheben der Substrate integriert sein. Für den High-End-Bereich liefern wir luftlagernde Platten mit gleichzeitiger Vakuumansaugung des Substrats (Chuck) bis zu einer Ebenheit von 5 µm bei einer Größe von 1,5 m x 1 m.

Branche:

Solarzellen- / Flat Panel-Produktion

Anwendung:

berührungsfreier Transport von Substraten

Tätigkeiten:

kundenspezifische Entwicklung, Fertigung/Montage Serie

Geometrie:

aktuell bis 1,9 m x 2,4 m

Temperaturbereich:

bis ca. 400 °C (auch mit heisser Luftversorgung)

Material:

Aluminium (beschichtet), Stahl o.a.

Luftlagernde Platte zum berührungsfreien Transport von Substraten


Luftgelagerte Rakeleinheit für Siebdruck

Beim Siebdruck entscheiden Gleichförmig- und Genauigkeit des Rakeldrucks auf das Substrat (Zelle) über konstante Schichtdicken und die Höhe des Substratbruchs. Unsere Rakeleinheit ist komplett luftgelagert, d.h. sowohl die Lagerung als auch der Pneumatik-Kolben zur Erzeugung der Vorspannung sind reibungs- und Stick-Slip-frei.Die Kraft des Rakel auf das Substrat ist über Luftdruck einstellbar und kann auf 0,1 N genau gehalten werden; sie hängt nur von der Genauigkeit des Pneumatikventils ab. Die Rakel kann pneumatisch auf- und abbewegt werden.

Luftgelagerte Rakeleinheit mit höchster Gleichförmigkeit des Rakeldrucks